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流量计 七星华创流量计 流量显示仪 D07-7流量计 真空流量计

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    七星华创流量计

表1. D07-7B 型MFC性能指标

编号 项     目 D07-7B  型

1 流量规格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM

( 0~1,2,3,5,10)                    SLM

2 准确度 ±1.5  % F.S

3 线性     ±1  % F.S

4 重复精度  ±0.2  %F.S

5 响应时间 电特性:      10   sec

  气特性:  ≤ 4  sec

6 工作压差范围 (0.1  ~ 0.5)  MPa

7 耐压 3  MPa

8 工作环境温度 5 ℃ ~ 45 ℃

9 输入输出信号 0  V ~ +5.00 V

(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

10 电源 +15  V   50 mA

-15V   200 mA

11 外形尺寸 见图4

12 重量 1.1  kg

 

注意:                                                                       

质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。

质量流量的单位规定

 
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